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真空淬火炉可分为真空油淬炉和真空气淬炉。
真空油淬炉适用于模具钢、弹簧钢、不锈钢、轴承钢、高温合金钢等的真空热处理。其主要特点是适用的材料范围广、淬透性强、成本低、淬火油可重复使用。不足之处有；变形量相对要大一些，工件后续需要清洗。真空油淬炉从结构上可分为双室炉和叁室炉等。
真空高压气淬炉适用于高速钢、不锈钢、模具钢等一些淬透性比较好的材料的真空热处理，特点是零件变形量小、零件热处理后不需要清洗。不足之处有淬火气体不能回收、成本较高。真空高压气淬炉从结构上可分为卧式和立式两种。卧式可分为单室、双室和叁室等。立式的适用环形状、筒状和长杆状零件的热处理。真空高压气淬炉淬火压力一般为2b a r～10b a r。根据用户的需要可选择零件适用于压力的炉型。
真空回火炉可分为单室、双室和立式等一般采用镍铬带加热锄耻颈高温度为800℃。真空回火炉一般适用要求回火后零件表面光亮、没有氧化色。
真空退火炉可分为单室、双室和立式。真空退火炉根据零件材料可选择中高温和低温。