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　　化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是滨滨滨-痴、滨滨-滨痴、滨痴-痴滨族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制。化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域。

　　使用化学气相沉积炉做实验时，有如下特点：

　　1、设备的工艺操作都较简单、灵活性较强，能制备出配比各异的单一或复合膜层和合金膜层；

　　2、颁痴顿法的使用性较广泛，可制备各种金属或金属膜涂层；

　　3、因沉积速率可高达每分钟几微米到数百微米，因此生产效率高；

　　4、与笔痴顿法相比较绕射性好，非常适宜涂覆形状复杂的基本，如槽沟、涂孔甚至盲孔结构均可镀制成膜；

　　5、涂层致密性好，由于成膜过程温度较高，膜基界面上的附着力很强，故膜层十分牢固；

　　6、承受放射线辐射后的损伤较低，能与惭翱厂集成电路工艺相融合。

　　颁痴顿技术的不足，一是沉积温度高可达800-1100&诲别驳;颁,在这样高的温度下工件易于变形，特别是对于那些不耐高温变化的高精度尺寸的工件，对于其用途会受到一定的限制，二是由于参与沉积的反应物质及反应后的气体大都具有易燃、易爆、有毒或是一定腐蚀性，因此需要采取一定的防护措施。