1、真空环境:气氛炉内部通过抽取空气形成真空环境。真空的创建有助于去除氧、水分和其他杂质,以防止材料在高温下发生氧化或其他不良反应。真空环境还可以提供更好的热传导,使得加热均匀。
2、管式结构:气氛炉通常采用管式结构,其中加热器件(通常是电阻丝)被包裹在炉管中。炉管由耐高温材料制成,如石英或金属合金,以承受高温和真空环境。
3、加热方式:气氛炉通过加热器件产生热量,并将其传递给待处理材料。通常,电流通过电阻丝,使其发热。热量经过炉管传导到材料,使其达到所需的高温。
4、气氛控制:在气氛炉中,可以引入特定的气体或气氛,如氮气、氢气、氩气等。这些气体可以在高温下与材料相互作用,以改变其物理或化学性质。气氛炉通常具有气氛控制系统,可以精确地控制气氛的成分和压力。
5、温度控制:气氛炉配备了温度控制系统,可以监测和调节炉内的温度。通过传感器测量温度,并根据设定值调整加热功率,以保持所需的温度稳定性。
6、冷却系统:在高温处理结束后,需要将炉子和待处理材料快速冷却到室温。气氛炉通常配备冷却系统,如水冷却或气体冷却,以便快速降温。
总的来说,真空管式气氛炉通过创建真空环境、控制气氛成分、提供稳定温度和加热方式,实现对材料的高温处理。这种设备广泛应用于半导体、陶瓷、金属等行业中,用于烧结、退火、沉积、硬化等工艺过程。